壹(yi)、真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)基本(ben)原理

真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)工(gong)作(zuo)原理主(zhu)要(yao)基於真(zhen)空(kong)技(ji)術(shu)和密(mi)封(feng)性能(neng)檢(jian)測技(ji)術(shu)。它通(tong)過抽氣系統將(jiang)被測件內部空(kong)氣抽出(chu)，形成壹(yi)定的(de)真(zhen)空(kong)度，然(ran)後利用(yong)高(gao)精度(du)傳(chuan)感(gan)器測量被測件在特(te)定時間(jian)內的(de)漏(lou)氣量(liang)或(huo)壓(ya)力變(bian)化，從而評估其真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)。

二(er)、真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)應用(yong)領域(yu)

1. 半(ban)導體行業(ye)：在(zai)半(ban)導體制造過程(cheng)中，真(zhen)空(kong)環境是的(de)。例如(ru)，在薄(bo)膜沈積(ji)、刻蝕、封(feng)裝等工(gong)藝(yi)中，都(dou)需要(yao)用到(dao)真(zhen)空(kong)環境。因此(ci)，對(dui)真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)的(de)測試對(dui)於確(que)保(bao)半(ban)導體產品的(de)質(zhi)量和(he)性能(neng)至關(guan)重要(yao)。
2. 電(dian)子(zi)行業(ye)：在(zai)電(dian)子(zi)產品的(de)生(sheng)產(chan)和(he)研發過(guo)程(cheng)中，也(ye)需要(yao)用到(dao)真(zhen)空(kong)環境。例如(ru)，在真(zhen)空(kong)鍍(du)膜、真(zhen)空(kong)熱處(chu)理、真(zhen)空(kong)封(feng)裝等工(gong)藝(yi)中，真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀可(ke)以(yi)幫助(zhu)企(qi)業(ye)評(ping)估設備(bei)的(de)密封(feng)性能(neng)，從(cong)而確(que)保(bao)產品的(de)穩定(ding)性和(he)可(ke)靠性。
3. 航(hang)空(kong)航(hang)天領域(yu)：在航(hang)空(kong)航(hang)天領域(yu)，真(zhen)空(kong)環境的(de)應用(yong)更為廣(guang)泛(fan)。例如(ru)，在太空(kong)探(tan)測、衛星(xing)通(tong)信、火(huo)箭(jian)發射等過程(cheng)中，都(dou)需要(yao)用到(dao)真(zhen)空(kong)環境。因此(ci)，對(dui)真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)的(de)測試對(dui)於確(que)保(bao)航(hang)空(kong)航(hang)天設(she)備(bei)的(de)安全(quan)性和(he)可(ke)靠性具(ju)有重要(yao)意義(yi)。
4. 醫療器械領域(yu)：在醫(yi)療(liao)器械領域(yu)，真(zhen)空(kong)環境的(de)應用(yong)也(ye)越(yue)來越(yue)廣(guang)泛(fan)。例如(ru)，在人工(gong)呼(hu)吸機(ji)、血(xue)液(ye)透(tou)析機(ji)、吸引(yin)器等設備(bei)中，都(dou)需要(yao)用到(dao)真(zhen)空(kong)環境。因此(ci)，對(dui)真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)的(de)測試對(dui)於確(que)保(bao)醫療器械的(de)安全(quan)性和(he)有效性具(ju)有重要(yao)意義(yi)。

三、真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)測試方(fang)法

真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)測試方(fang)法主(zhu)要包(bao)括靜(jing)態法、動(dong)態法和(he)連續(xu)法三(san)種。

1. 靜(jing)態法：靜(jing)態法是(shi)指在壹(yi)定時間(jian)內保(bao)持真(zhen)空(kong)度不(bu)變，通(tong)過測量被測件內部的(de)漏(lou)氣量(liang)來(lai)評估(gu)其真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)。這種方(fang)法簡單(dan)易行，但(dan)測試時間(jian)較長(chang)，且對(dui)測試環境要求(qiu)較(jiao)高(gao)。
2. 動(dong)態法：動(dong)態法是(shi)指在壹(yi)定時間(jian)內對(dui)被測件進行多(duo)次(ci)抽氣和(he)放(fang)氣操作(zuo)，通(tong)過測量被測件在每次(ci)抽氣和(he)放(fang)氣過(guo)程(cheng)中的(de)壓(ya)力變(bian)化來評估其真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)。這種方(fang)法測試時間(jian)較短(duan)，且能(neng)夠(gou)更全(quan)面地(di)評估(gu)被測件的(de)密封(feng)性能(neng)。
3. 連(lian)續(xu)法：連(lian)續法是(shi)指連續(xu)對(dui)被測件進行抽氣和(he)放(fang)氣操作(zuo)，並(bing)實時記(ji)錄(lu)其壓(ya)力變(bian)化曲(qu)線。通(tong)過分(fen)析壓(ya)力變(bian)化曲(qu)線，可(ke)以(yi)評估(gu)被測件的(de)密封(feng)性能(neng)以(yi)及(ji)漏(lou)氣位(wei)置(zhi)等信息(xi)。這種方(fang)法測試精度高(gao)，但(dan)設(she)備(bei)成(cheng)本(ben)較(jiao)高(gao)。

四(si)、真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)技(ji)術(shu)參(can)數(shu)

設備(bei)型(xing)號： HE-01A

真(zhen) 空(kong) 度： -90～0KPa

精(jing)    度： 1級(ji)

真(zhen)空(kong)室有效尺(chi)寸(cun)： 直(zhi)徑(jing)270×高(gao)270 mm（其他(ta)尺(chi)寸(cun)可(ke)定(ding)制）

外形尺(chi)寸(cun)： 420mm(L)×320mm(B)×520mm(H)

電(dian)    源(yuan)： AC 220V 50Hz

凈    重： 15kg

總(zong)之(zhi)，真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀在現(xian)代工(gong)業(ye)領域(yu)中發揮著(zhe)越(yue)來越(yue)重要(yao)的(de)作(zuo)用(yong)。通(tong)過了(le)解(jie)真(zhen)空(kong)密封(feng)性能(neng)測試儀的(de)基本(ben)原理、應用(yong)領域(yu)、測試方(fang)法以(yi)及(ji)發展(zhan)趨(qu)勢等方(fang)面的(de)內容(rong)，我們(men)可(ke)以(yi)更好地(di)認識(shi)和(he)使用這壹重要(yao)儀(yi)器，為企(qi)業(ye)的(de)生(sheng)產(chan)和(he)研發提(ti)供有力支持。