在科(ke)技(ji)日新(xin)月異(yi)的今天(tian)，真空技術作(zuo)為精密(mi)制(zhi)造(zao)、半導體產業(ye)、航(hang)空航天(tian)及(ji)科研(yan)領(ling)域(yu)的壹(yi)環，其(qi)重(zhong)要(yao)性(xing)不(bu)言而喻。而(er)真空檢漏箱，作(zuo)為確保(bao)真空系(xi)統(tong)密封(feng)性(xing)能的關(guan)鍵(jian)設備(bei)，其(qi)工作(zuo)原(yuan)理的(de)深(shen)入(ru)理解對於(yu)提(ti)高(gao)產品質(zhi)量(liang)、保障系(xi)統(tong)穩(wen)定(ding)運(yun)行具(ju)有(you)重要(yao)意義。本(ben)文(wen)將從(cong)真空檢漏箱的基(ji)本(ben)概(gai)念(nian)出發，深(shen)入(ru)剖析(xi)其(qi)工作(zuo)原(yuan)理，並(bing)探(tan)討(tao)其(qi)在(zai)不(bu)同領(ling)域(yu)的應(ying)用(yong)與(yu)優(you)勢。

 壹、真空檢漏箱概(gai)述

真空檢漏箱，顧(gu)名(ming)思義，是(shi)壹(yi)種能夠在(zai)可控(kong)的真空環境下對物體或(huo)系(xi)統(tong)進行密封性(xing)檢測的設備(bei)。它通(tong)過(guo)抽除箱體內(nei)的空氣，創造(zao)壹個(ge)低壓(ya)甚(shen)至接(jie)近絕(jue)對(dui)真空的環(huan)境，隨後利用(yong)特(te)定(ding)的檢測方(fang)法(fa)，如氦質譜(pu)檢漏、鹵(lu)素檢漏或(huo)壓(ya)力(li)衰減法等，來(lai)識(shi)別並(bing)定(ding)位(wei)被檢對象(xiang)上的微小泄(xie)漏點(dian)。這(zhe)壹(yi)過(guo)程對於(yu)確(que)保(bao)真空系(xi)統(tong)的高(gao)效運(yun)行、防止氣體滲透導致(zhi)的(de)性(xing)能下降(jiang)乃至失效(xiao)至關(guan)重要(yao)。

 二、工作(zuo)原(yuan)理詳(xiang)解

 1. 真空環境的建(jian)立(li)

真空檢漏箱工作(zuo)的第(di)壹(yi)步(bu)是(shi)創(chuang)建(jian)所(suo)需(xu)的(de)真空環境。這通(tong)常(chang)通(tong)過(guo)配備(bei)有(you)高(gao)效真空泵的系(xi)統(tong)來實(shi)現(xian)，如旋(xuan)片(pian)泵、渦旋(xuan)泵或分子泵等。這(zhe)些泵組能夠逐(zhu)級降(jiang)低箱體內(nei)的氣體壓力，直(zhi)至達(da)到預定(ding)的(de)真空度。在(zai)此(ci)過(guo)程中，還需(xu)註(zhu)意對(dui)箱體進(jin)行良好(hao)的隔(ge)熱處理，以(yi)減少(shao)外(wai)界熱輻射對(dui)箱內溫(wen)度及(ji)真空度的(de)影響(xiang)。

 2. 檢測方(fang)法(fa)的選(xuan)擇(ze)與(yu)應(ying)用(yong)

氦質(zhi)譜(pu)檢漏法(fa)：這(zhe)是(shi)目前最為靈敏的(de)檢漏技(ji)術之壹(yi)。其(qi)原(yuan)理是(shi)利(li)用(yong)氦(hai)氣作(zuo)為示(shi)蹤(zong)氣體，將被檢件置於含有(you)壹定濃(nong)度氦(hai)氣的環境中，或(huo)直接(jie)向(xiang)被檢件內部(bu)充入(ru)氦氣。當存在泄(xie)漏時(shi)，氦(hai)氣會通(tong)過(guo)泄(xie)漏點(dian)進(jin)入(ru)真空檢漏箱，隨後(hou)被高(gao)靈敏度(du)的氦質(zhi)譜(pu)儀(yi)檢測出來。該(gai)方(fang)法(fa)能夠檢測到極(ji)小的泄(xie)漏率，適(shi)用(yong)於(yu)高(gao)精度(du)要(yao)求的(de)場(chang)合。

鹵(lu)素檢漏法(fa)：該(gai)方(fang)法(fa)利用(yong)鹵(lu)素氣體（如氟利(li)昂(ang)）與特(te)定(ding)反(fan)應(ying)劑(ji)發生(sheng)化學(xue)反應(ying)產生可檢測信(xin)號(hao)的原(yuan)理進(jin)行檢漏。與(yu)氦(hai)質(zhi)譜檢漏相(xiang)比，鹵(lu)素檢漏法(fa)成本(ben)較(jiao)低，但靈敏度(du)稍(shao)遜(xun)，且對(dui)環(huan)境有(you)壹定影響(xiang)，因(yin)此(ci)多(duo)用(yong)於(yu)對(dui)靈敏度(du)要(yao)求不(bu)是(shi)特(te)別(bie)高(gao)的場(chang)合。

壓力(li)衰減法：此(ci)方(fang)法(fa)基(ji)於(yu)理想(xiang)氣體定律(lv)，通(tong)過(guo)監(jian)測被(bei)檢件在壹定(ding)時間內壓(ya)力的變(bian)化來判斷(duan)是(shi)否存(cun)在(zai)泄(xie)漏。操作(zuo)簡(jian)便(bian)，無(wu)需(xu)特(te)殊(shu)氣體，但精度(du)受環境溫度、容(rong)器體(ti)積(ji)變(bian)化等多(duo)種因(yin)素影響(xiang)，適用(yong)於(yu)粗(cu)略檢測或初步(bu)篩選(xuan)。

 3. 數據(ju)處(chu)理與(yu)結果(guo)分析(xi)

無論(lun)是(shi)采(cai)用(yong)哪(na)種檢漏方(fang)法(fa)，真空檢漏箱都會(hui)配備(bei)先進的(de)數(shu)據采集與處(chu)理系(xi)統(tong)，能夠實(shi)時記(ji)錄並(bing)分(fen)析(xi)檢測過(guo)程中的(de)各項參(can)數，如(ru)真空度變(bian)化、泄(xie)漏率等。通(tong)過(guo)對這(zhe)些數據(ju)的深(shen)入(ru)分析(xi)，可以(yi)準確(que)判(pan)斷(duan)被(bei)檢件的密封(feng)性(xing)能，並(bing)定(ding)位(wei)泄(xie)漏點(dian)。同時(shi)，壹些高(gao)級系(xi)統(tong)還能提(ti)供(gong)泄(xie)漏趨(qu)勢(shi)預測(ce)、故(gu)障診(zhen)斷(duan)等功(gong)能，為後續(xu)的(de)維護和(he)改進提(ti)供(gong)有(you)力支(zhi)持(chi)。

 三、應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)與優(you)勢

真空檢漏箱廣泛應(ying)用(yong)於(yu)半導體制(zhi)造(zao)、航空航天(tian)、核能、石油(you)化工、醫藥(yao)包(bao)裝等多(duo)個(ge)領(ling)域(yu)。在半導體產業(ye)中，它(ta)確保了(le)芯(xin)片(pian)生產過(guo)程中的(de)潔(jie)凈(jing)度(du)和(he)工藝(yi)穩(wen)定(ding)性(xing)；在(zai)航(hang)空航天(tian)領(ling)域(yu)，則保(bao)障了(le)飛行器的(de)密(mi)封(feng)性(xing)和(he)安(an)全(quan)性(xing)。其(qi)優(you)勢(shi)在(zai)於(yu)能夠高(gao)效、準確(que)地(di)檢測出微小泄(xie)漏，提(ti)高(gao)產品質(zhi)量(liang)，降低維(wei)護(hu)成本(ben)，同時(shi)促(cu)進(jin)了(le)相(xiang)關(guan)技術的不(bu)斷(duan)創(chuang)新(xin)與發展(zhan)。

四、技術參(can)數

規格(ge)型號(hao)： HE-VL-500 HE-VL-600 HE-VL-800 HE-VL-1000

內箱尺寸(mm)： 500×500×500、 600×600×600、 800×800×800、 1000×1000×1000

水槽(cao)尺寸(mm)： 400×400×400、 500×500×500、 700×700×700、 900×900×900

外(wai)形尺寸(mm)： 680×670×1410 800×760×1530 1020×970×1720 1260×1560×1750

真空泵： 2XZ-4 XD-40

總功率： 1.5KW 3.0KW

使用(yong)電(dian)源(yuan)： AC 單相(xiang) 三線(xian) 220V 50HZ AC 三相(xiang) 五(wu)線(xian) 380V 50HZ

真空度範(fan)圍(wei)： 0～-100KPa

控制(zhi)方(fang)式(shi)： 按(an)鍵式(shi)控(kong)制(zhi)或(huo)PLC觸摸(mo)屏(ping)控(kong)制(zhi)

結構(gou)： 壹體(ti)式(shi)結(jie)構（內置真空泵）或分體式(shi)（外(wai)置真空泵）

內箱材(cai)質(zhi)： SUS304#不(bu)銹鋼(gang)

外(wai)箱材(cai)質(zhi)： SECC鋼(gang)板高(gao)級烤漆(qi)處(chu)理

綜(zong)上所(suo)述(shu)，真空檢漏箱作(zuo)為真空技術領(ling)域(yu)的重(zhong)要(yao)組成部(bu)分，其(qi)工作(zuo)原(yuan)理的(de)深(shen)入(ru)理解和(he)正(zheng)確(que)應(ying)用(yong)對(dui)於(yu)推動科(ke)技進步(bu)、提(ti)升(sheng)產品質(zhi)量(liang)具(ju)有(you)重要(yao)意義。隨(sui)著科技的不(bu)斷(duan)發展(zhan)，我(wo)們有(you)理由(you)相信(xin)，真空檢漏技(ji)術將更加(jia)成熟(shu)完(wan)善，為更多(duo)領(ling)域(yu)帶來更加(jia)精準(zhun)、高(gao)效的解決方(fang)案(an)。