艙體密(mi)封(feng)失(shi)效(xiao)：密封(feng)圈(quan)老化或(huo)安裝不(bu)當

排查：關閉艙門後(hou)，用(yong) 0.1MPa 壓縮(suo)空氣(qi)沿(yan)門(men)縫吹掃(sao)，若壓(ya)力(li)表(biao)指針明顯(xian)波動（上升＞5kPa），說(shuo)明存在(zai)漏氣(qi)；或(huo)觀察(cha)密(mi)封(feng)圈(quan)表面(mian)，有(you)裂(lie)紋、缺(que)角(jiao)或(huo)油(you)汙堆(dui)積。

解(jie)決(jue)：更換同(tong)規格密封(feng)圈(quan)（建議(yi)選用氟(fu)矽膠(jiao)材(cai)質，提升耐老化(hua)性）；安裝前(qian)用(yong)無(wu)水乙(yi)醇(chun)清潔密封(feng)槽(cao)，確(que)保無(wu)雜質，密封(feng)圈(quan)平整(zheng)嵌(qian)入槽(cao)內(nei)（避(bi)免拉伸或(huo)扭(niu)曲(qu)），關閉艙門時(shi)均(jun)勻(yun)鎖(suo)緊四(si)周螺栓（扭(niu)矩(ju) 5-8N・m）。

管(guan)路泄(xie)漏：連(lian)接(jie)松動或(huo)管(guan)道破損(sun)

排查：啟動真空泵後(hou)，用(yong)肥皂水塗(tu)抹(mo)管(guan)路接口(kou)、閥(fa)門(men)閥(fa)芯(xin)，若出(chu)現連(lian)續氣(qi)泡；或(huo)關(guan)閉艙門、斷開泵體(ti)與管(guan)路連接(jie)，堵住管(guan)路端口(kou)，壓力(li)表(biao)仍持(chi)續下(xia)降(jiang)（＞2kPa / 分鐘）。

解(jie)決(jue)：用扳(ban)手重新(xin)緊固(gu)接頭(tou)（註意(yi)使(shi)用(yong)專(zhuan)用扳(ban)手，避(bi)免管(guan)道變(bian)形(xing)）；對(dui)破(po)損管(guan)道，更換同(tong)直徑(jing)不銹鋼波紋(wen)管(guan)（壁(bi)厚(hou)≥0.8mm，抗(kang)壓(ya)≥0.6MPa）；閥(fa)門(men)密封(feng)面(mian)輕微劃痕(hen)可研磨(mo)修復(fu)（用 600 目砂(sha)紙順(shun)時針(zhen)打(da)磨(mo)，直至光滑(hua)），嚴(yan)重時(shi)需(xu)更(geng)換閥門(men)（建(jian)議(yi)選用真(zhen)空蝶(die)閥，密(mi)封(feng)等級(ji)達(da) 10⁻⁵Pa・m³/s）。

真空泵性(xing)能衰(shuai)減(jian)：抽氣(qi)速(su)率不(bu)足

排查：觀察(cha)真(zhen)空泵運(yun)行(xing)聲音(yin)，若出(chu)現異響（摩(mo)擦(ca)聲(sheng)、漏氣(qi)聲(sheng)）；或(huo)測(ce)量(liang)抽氣(qi)速(su)率（關(guan)閉艙門，從(cong) 101kPa 降(jiang)至 10kPa 的時(shi)間，標準(zhun)＜5 分鐘，實際＞10 分鐘）；泵油(you)呈(cheng)乳白色（正(zheng)常為(wei)淡(dan)黃色）。

解(jie)決(jue)：更換真空泵油(you)（按(an)型(xing)號選用專(zhuan)用真(zhen)空油，如旋片(pian)泵用(yong) N68 號(hao)，分子泵用(yong)合(he)成油(you)），並(bing)清潔油過(guo)濾器；若葉(ye)片(pian)磨(mo)損（拆(chai)解(jie)泵體(ti)可見葉(ye)片(pian)邊(bian)緣(yuan)缺(que)口(kou)），更(geng)換同(tong)規格葉(ye)片(pian)；清洗進氣(qi)過(guo)濾器（5μm 濾芯(xin)），每月 1 次，避(bi)免粉塵堵塞。

參數(shu)設(she)置(zhi)錯(cuo)誤(wu)：真(zhen)空度限(xian)制(zhi)未(wei)解(jie)除(chu)

排查：查看操(cao)作界(jie)面(mian) “真空度限(xian)制(zhi)" 參數(shu)，是否低(di)於(yu)目標(biao)值(zhi)；或(huo)降(jiang)壓曲(qu)線顯(xian)示(shi) “平緩停(ting)滯"，但設(she)備無(wu)報(bao)警(jing)提示(shi)。

解(jie)決(jue)：進入(ru)高級(ji)設(she)置(zhi)界(jie)面(mian)，取消(xiao)安全真(zhen)空度限(xian)制(zhi)（或(huo)設(she)為(wei) 0.001kPa）；按(an)測(ce)試標(biao)準調整(zheng)降(jiang)壓速(su)率（如航(hang)空測試通(tong)常設(she) 1-2kPa / 秒(miao)），確保與真(zhen)空泵抽(chou)氣(qi)能力(li)匹(pi)配（避(bi)免因速(su)率過(guo)高導(dao)致泵體(ti)過(guo)載(zai)）。

傳感器失準(zhun)：氣(qi)壓(ya) / 溫(wen)度(du)信號(hao)偏差

排查：用標(biao)準壓(ya)力(li)表(biao)（精度 0.02 級(ji)）對(dui)比(bi)設(she)備氣(qi)壓(ya)顯(xian)示值(zhi)，或(huo)用(yong)標(biao)準(zhun)溫(wen)度(du)計(ji)（經(jing)計(ji)量(liang)院(yuan)校(xiao)準(zhun)）對(dui)比(bi)艙內溫(wen)度(du)，偏差＞2℃。

解(jie)決(jue)：按(an) JJF 1059 標(biao)準校(xiao)準(zhun)傳感器，氣(qi)壓(ya)傳(chuan)感器用真(zhen)空校(xiao)準(zhun)儀（0.001-101kPa）多點校(xiao)準(zhun)（如 100kPa、50kPa、10kPa、1kPa）；溫(wen)度(du)傳感(gan)器用恒(heng)溫(wen)槽(cao)（-50℃至 150℃）校(xiao)準(zhun)，校(xiao)準(zhun)後在(zai)控制(zhi)器內輸(shu)入修正(zheng)值(zhi)；建(jian)議(yi)每年強制(zhi)校(xiao)準(zhun) 1 次，確保精(jing)度(du)。

控制(zhi)器參數(shu)紊(wen)亂(luan)：PID 調節失衡(heng)

排查：觀察(cha)溫(wen)壓(ya)曲(qu)線，溫(wen)度(du)達到(dao)設(she)定(ding)值(zhi)後(hou)，氣(qi)壓(ya)持(chi)續震(zhen)蕩(dang)（如目標(biao) 10kPa，在(zai) 8-12kPa 間反復(fu)波動）；或(huo)溫(wen)度(du)變(bian)化(hua)速(su)率＞5℃/ 分鐘時，氣(qi)壓(ya)無(wu)明顯(xian)響應（滯後＞30 秒(miao)）。

解(jie)決(jue)：進入(ru)控制(zhi)器參數(shu)界(jie)面(mian)，重置(zhi) PID 參數(shu)（參考(kao)設(she)備手冊(ce)默(mo)認值(zhi)：溫(wen)度(du)比(bi)例(li)系數(shu) 50-80，積分時間 30-60 秒(miao)；氣(qi)壓(ya)比(bi)例(li)系數(shu) 30-50，積分時間 20-40 秒(miao)）；通過(guo) “階躍測(ce)試" 優(you)化(hua)：設(she)定(ding)溫(wen)度(du)從 25℃升至 80℃，記錄氣(qi)壓(ya)波動幅度(du)，逐(zhu)步調整(zheng)比(bi)例(li)系數(shu)（幅度(du) ±10），直(zhi)至波動≤±0.5kPa。

執行(xing)器故障(zhang)：加熱(re) / 制(zhi)冷(leng)模塊(kuai)或(huo)閥(fa)門(men)響應延(yan)遲(chi)

排查：溫(wen)度(du)無法(fa)升高，萬(wan)用(yong)表(biao)檢(jian)測加熱(re)管(guan)電阻（正(zheng)常(chang)應符(fu)合標(biao)稱值(zhi)，如 2kW 加熱(re)管(guan)約 24Ω），電阻(zu)無(wu)窮(qiong)大說(shuo)明斷路；溫(wen)度(du)無法(fa)降(jiang)低(di)，觀察(cha)壓(ya)縮(suo)機(ji)是否啟動（聽運(yun)行(xing)聲音(yin)），或(huo)檢(jian)測制(zhi)冷(leng)劑壓力(li)（正(zheng)常 R404A 低(di)壓(ya) 0.3-0.5MPa）；閥(fa)門(men)不(bu)動作，手動觸(chu)發(fa)開關，電機(ji)無響應或(huo)異響。

解(jie)決(jue)：更換同(tong)功率(lv)加熱(re)管(guan)，確保接(jie)線(xian)端子緊固(gu)（避(bi)免接觸(chu)不(bu)良發熱）；補(bu)充(chong)制(zhi)冷(leng)劑（需專(zhuan)業人員(yuan)操(cao)作，同(tong)時檢(jian)漏補(bu)焊(han)）；對(dui)閥(fa)門電(dian)機(ji)卡滯，拆解(jie)後(hou)清潔齒輪箱（加註(zhu)高溫(wen)潤(run)滑(hua)脂），嚴(yan)重時(shi)更(geng)換閥門(men)總(zong)成(cheng)（建(jian)議(yi)選用伺(si)服電機(ji)驅動，提升響應速(su)度）。