三層(ceng)真空(kong)烤(kao)箱的常(chang)見故障及解決(jue)方(fang)法(fa)：

　　1、故障現象(xiang)：芯(xin)部(bu)溫(wen)度(du)升溫(wen)慢(man)

　　原(yuan)因分(fen)析(xi)：工作(zuo)室(shi)內(nei)運(yun)風不正(zheng)常，熱(re)風(feng)無(wu)法(fa)吹(chui)出(chu)；電池(chi)堆(dui)放(fang)過多(duo)，堵住(zhu)熱(re)風(feng)循環(huan)；內發(fa)熱(re)絲(si)壞(huai)。

　　解決(jue)辦法(fa)：拆開(kai)工作(zuo)室(shi)隔(ge)板，檢查(zha)是(shi)否風扇損(sun)壞(huai)；常(chang)壓(ya)情(qing)況下(xia)，用(yong)手(shou)持式溫(wen)控(kong)儀檢(jian)查腔(qiang)內(nei)溫(wen)度(du)是(shi)否(fou)與芯(xin)部(bu)探(tan)測壹(yi)致(zhi)；測量(liang)發(fa)熱(re)絲(si)阻(zu)值，檢查(zha)是否發(fa)熱(re)絲(si)損(sun)壞(huai)。

　　2、故障現象(xiang)：主控(kong)溫(wen)度(du)頻(pin)繁(fan)報警

　　原(yuan)因分(fen)析(xi)：主控(kong)溫(wen)度(du)報(bao)警(jing)值設(she)置(zhi)過低(di)，在(zai)充氮氣時溫(wen)度(du)超(chao)過(guo)報(bao)警(jing)溫(wen)度(du)；芯(xin)部(bu)探(tan)頭沒(mei)有(you)校正(zheng)，與實際溫(wen)度(du)有(you)偏差(cha)；外加熱(re)溫(wen)控(kong)補償值太高，PID設(she)置(zhi)不準(zhun)確；探(tan)頭異(yi)常(chang)。

　　解決(jue)辦法(fa)：在(zai)真(zhen)空(kong)環(huan)境下充氮氣，會(hui)導致溫(wen)度(du)短暫升高，幾(ji)分鐘後會回(hui)落(luo)；常壓(ya)情(qing)況下(xia)，用(yong)手(shou)持式溫(wen)控(kong)儀檢(jian)查腔(qiang)內(nei)溫(wen)度(du)是(shi)否(fou)與芯(xin)部(bu)探(tan)測壹(yi)致(zhi)；適(shi)當將外主控(kong)溫(wen)控(kong)表(biao)的參(can)數“PD”值設(she)為(wei)正數，降溫(wen)後重新(xin)加溫(wen)，可(ke)以降低外加熱(re)的補(bu)償量(liang)；檢查(zha)是否探(tan)頭失(shi)真(zhen)，更換探(tan)頭。

　　3、故障現象(xiang)：循環(huan)進行中真空(kong)報(bao)警

　　原(yuan)因分(fen)析(xi)：腔(qiang)體或(huo)其它(ta)機臺腔(qiang)體有(you)漏真(zhen)空(kong)現象(xiang)；有(you)腔(qiang)體壹(yi)直“真空(kong)發(fa)出(chu)暫停(ting)信號(hao)”。

　　解決(jue)辦法(fa)：首(shou)先(xian)停(ting)止本腔(qiang)體的真(zhen)空(kong)運(yun)行，檢(jian)查(zha)是否(fou)有(you)真空(kong)泄(xie)漏；排查(zha)其(qi)它(ta)腔(qiang)體泄漏(lou)可能(neng)性。

　　4、故障現象(xiang)：循環(huan)進行中低溫(wen)報(bao)警

　　原(yuan)因分(fen)析(xi)：外加熱(re)系(xi)統中運(yun)行異(yi)常(chang)，可(ke)能(neng)風機(ji)損(sun)壞(huai)，或(huo)發(fa)熱(re)絲(si)有(you)損壞(huai)；內(nei)加熱(re)風(feng)機(ji)或(huo)發(fa)熱(re)絲(si)損(sun)壞(huai)；

　　解決(jue)辦法(fa)：檢(jian)查(zha)內(nei)外加熱(re)系(xi)統，檢查(zha)風(feng)機(ji)運(yun)轉是(shi)否(fou)正常(chang)；檢查內外發(fa)熱(re)絲(si)是(shi)否(fou)有(you)損壞(huai)；檢(jian)查電壓(ya)是否(fou)有(you)缺相(xiang)或(huo)接觸器(qi)損壞(huai)。

　　5、故障現象(xiang)：內風扇2A小型(xing)斷(duan)路(lu)器(qi)跳(tiao)閘

　　原(yuan)因分(fen)析(xi)：風扇有(you)燒(shao)壞(huai)；風(feng)扇卡(ka)死(si)。

　　解決(jue)辦法(fa)：檢(jian)查(zha)風(feng)扇是(shi)否(fou)卡死(si)，更換風(feng)扇。

　　6、故障現象(xiang)：外發(fa)熱(re)包(bao)幹燒(shao)報警

　　原(yuan)因分(fen)析(xi)：外風機(ji)損(sun)壞(huai)；溫(wen)控(kong)表(biao)設(she)置(zhi)溫(wen)度(du)過(guo)低(di)；

　　解決(jue)辦法(fa)：檢(jian)查(zha)風(feng)機(ji)是否損壞(huai)；將溫(wen)控(kong)表(biao)的報(bao)警值適(shi)當調整(zheng)到合(he)適(shi)。