矽(gui)晶片(pian)真(zhen)空烘箱 試驗(yan)箱
更新(xin)時間：2022-12-28
矽晶片真(zhen)空烘箱，專(zhuan)為(wei)幹(gan)燥熱敏性(xing)、易分(fen)解和易氧化物質而設計(ji)，能夠向(xiang)內(nei)部(bu)充(chong)入(ru)惰性(xing)氣(qi)體(ti)，特(te)別是壹(yi)些(xie)成(cheng)分(fen)復(fu)雜的(de)物品(pin)也能進行快速(su)幹(gan)燥。
- 上(shang)壹(yi)個(ge)：大型工業(ye)真空烘箱 試驗(yan)箱
- 下(xia)壹(yi)個(ge)：高(gao)溫真空無(wu)氧(yang)烤箱 試驗(yan)箱
壹(yi)、矽(gui)晶(jing)片真空烘箱箱體(ti)規(gui)格(ge)
規(gui)格(ge)型號(hao) | 內(nei)箱尺(chi)寸（W*H*Dmm） | 外箱尺(chi)寸（W*H*Dmm） | 真空泵 | 電源 |
HE-WD-300 | 300*300*300 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 3.5KW |
HE-WD-400 | 400*400*400 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 4.5KW |
HE-WD-500 | 500*500*500 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 5.5KW |
HE-WD-600 | 600*600*600 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 380V 50Hz 9KW |
HE-WD-700 | 700*700*700 | 1000*1580*920 | 8升 | AC 380V 50Hz 12KW |
HE-WD-800 | 800*800*800 | 1100*1680*1050 | 8升 | AC 380V 50Hz 15KW |
HE-WD-1000 | 1000*1000*1000 | 1350*1620*1300 | 8升 | AC 380V 50Hz 20KW |
箱體(ti)結構：連體(ti)式，真空泵置於(yu)機臺(tai)下(xia)部(bu)；
隔(ge)層：內(nei)分(fen)二(er)層(ceng)，配網板(ban)二(er)塊，可(ke)活(huo)動(dong)抽出(chu)；
面(mian)板(ban)安(an)裝(zhuang)：控(kong)制(zhi)面(mian)板(ban)安(an)裝(zhuang)於(yu)機臺(tai)下(xia)方(fang)（如設備外觀圖(tu)）；
開門方式(shi)：單(dan)由(you)右至(zhi)左開啟(qi);
可(ke)視(shi)窗：門上帶(dai)可(ke)視(shi)窗，規(gui)格(ge)W250×H300mm；
內(nei)箱材(cai)料為(wei)：304#不(bu)銹(xiu)鋼(gang)工業(ye)板(ban)；內(nei)箱加(jia)強(qiang)處(chu)理(li)，抽真(zhen)空不變形(xing)；
外箱材(cai)料為(wei)：冷(leng)軋鋼板(ban),厚(hou)1.2mm,表(biao)面(mian)烤漆處(chu)理(li)；
保(bao)溫材(cai)質為(wei)：耐(nai)高(gao)溫巖棉，保(bao)溫層厚100mm，保(bao)溫效果好；
安(an)裝(zhuang)帶(dai)剎車活(huo)動(dong)腳輪，可(ke)任意推(tui)動(dong)；
二(er)、矽(gui)晶片(pian)真空烘箱控(kong)溫系統(tong)
溫度範圍(wei)：常溫+30℃～200℃
控制(zhi)精度：±0.5℃
顯示精度：0.1℃
箱內(nei)溫度均勻度：±5℃%(無(wu)真(zhen)空時，空箱測(ce)試)
升溫速(su)率：RT→100℃（約(yue)30分(fen)鐘），200℃（約(yue)45分(fen)鐘）
三(san)、真空系統(tong)
真空度：0～-101KPa
真空保(bao)壓泄(xie)漏率：約(yue)0.8KPa每(mei)小(xiao)時
采用(yong)高(gao)密封(feng)性的矽膠(jiao)密封(feng)條保(bao)障(zhang)整(zheng)機(ji)的密封(feng)性；
采用(yong)數(shu)顯示式(shi)真(zhen)空表直(zhi)接(jie)顯示內(nei)箱真(zhen)空度，讓(rang)妳即(ji)時了(le)解箱體(ti)內(nei)的(de)真空狀態，真空度達到(dao)0－-0.1Mpa (即(ji):100pa真(zhen)空度)
四、充(chong)氮(dan)氣(qi)裝(zhuang)置(zhi)
1、調壓閥：控制(zhi)氮(dan)氣(qi)壓力(li)，正常使(shi)用(yong)下(xia)氮(dan)氣(qi)壓力(li)調(tiao)為(wei)2.5公斤左右；
2、面(mian)板(ban)流量計(ji)：控制(zhi)氮(dan)氣(qi)進入(ru)箱內(nei)的(de)大小，量程(cheng)為(wei)10L/min-60Lmin；
3、氮(dan)氣(qi)管(guan)道(dao)進入(ru)到(dao)箱內(nei)正後(hou)面(mian)，調壓閥處(chu)預留(liu)8mm快插(cha)氣(qi)管(guan)接(jie)口；
4、註(zhu)：氮(dan)氣(qi)由(you)用(yong)戶(hu)自(zi)備。
真空幹(gan)燥箱先(xian)抽真(zhen)空再(zai)升溫加熱的(de)原(yuan)因(yin)
1)工件放(fang)入(ru)真空箱裏(li)抽真(zhen)空是為(wei)了(le)抽(chou)去(qu)工件材(cai)質中可(ke)以(yi)抽去(qu)的氣(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)。如果(guo)先加熱工件，氣(qi)體(ti)遇熱就(jiu)會(hui)膨脹。由於(yu)真(zhen)空箱的(de)密封(feng)性非常好，膨脹(zhang)氣(qi)體(ti)所產生的(de)巨大(da)壓力(li)有(you)可(ke)能使(shi)觀察(cha)窗鋼(gang)化玻(bo)璃(li)爆裂。這(zhe)是壹(yi)個(ge)潛(qian)在的(de)危險。按先(xian)抽(chou)真(zhen)空再(zai)升溫加熱的(de)程(cheng)序(xu)操作，就(jiu)可(ke)以(yi)避免(mian)這(zhe)種危險。
2)如果按先升溫加熱再(zai)抽真(zhen)空的程序(xu)操作(zuo)，加熱的(de)空氣(qi)被(bei)真(zhen)空泵抽出(chu)去的(de)時候，熱量(liang)必(bi)然(ran)會被帶(dai)到(dao)真空泵上去(qu)，從(cong)而導致(zhi)真(zhen)空泵溫升過高(gao)，有可(ke)能使(shi)真空泵效率(lv)下降(jiang)。
3)加熱後(hou)的(de)氣(qi)體(ti)被導向(xiang)真(zhen)空壓力(li)表(biao)，真(zhen)空壓力(li)表(biao)就(jiu)會(hui)產生溫升。如果溫升超過了真(zhen)空壓力(li)表(biao)規(gui)定(ding)的(de)使(shi)用(yong)溫度範圍(wei)，就(jiu)可(ke)能使(shi)真空壓力(li)表(biao)產生示(shi)值誤(wu)差(cha)。
正確(que)的(de)使(shi)用(yong)方(fang)法(fa)應該先抽(chou)真(zhen)空再(zai)升溫加熱。待(dai)達到(dao)了額(e)定溫度後如(ru)發現(xian)真空度有所(suo)下降(jiang)時再(zai)適當(dang)加(jia)抽(chou)壹(yi)下(xia)。這(zhe)樣做(zuo)對於延(yan)長設(she)備的(de)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)是有利的。
