壹、矽(gui)晶(jing)片真(zhen)空(kong)烤箱工作原理

在(zai)真(zhen)空(kong)狀(zhuang)態(tai)下(xia)，烤箱內(nei)的(de)空(kong)氣被抽出(chu)，從(cong)而(er)使烤箱內(nei)的(de)溫(wen)度降低(di)，從(cong)而(er)達(da)到(dao)更高(gao)的(de)烘(hong)烤效(xiao)果(guo)。此外，真(zhen)空(kong)烤箱還可(ke)以控(kong)制烘烤溫(wen)度、控(kong)制烘烤時(shi)間、控(kong)制烘烤空(kong)氣流(liu)動等，從(cong)而(er)達(da)到(dao)更好的(de)烘(hong)烤效(xiao)果(guo)。

二(er)、矽(gui)晶(jing)片真(zhen)空(kong)烤箱箱體規(gui)格(ge)

箱體結構：連體式(shi)，真(zhen)空(kong)泵(beng)置(zhi)於(yu)機(ji)臺下(xia)部(bu)；

隔層(ceng)：內(nei)分(fen)二(er)層(ceng)，配(pei)網(wang)板(ban)二(er)塊，可(ke)活動抽出(chu)；

面(mian)板(ban)安(an)裝：控(kong)制面(mian)板(ban)安(an)裝於(yu)機(ji)臺下(xia)方（如設備外(wai)觀(guan)圖）；

開門(men)方式(shi)：單(dan)由(you)右至左開啟;

可(ke)視窗(chuang)：門(men)上帶可(ke)視窗(chuang)，規(gui)格(ge)W250×H300mm；

內(nei)箱材料(liao)為：304#不銹(xiu)鋼工業(ye)板(ban)；內(nei)箱加強(qiang)處(chu)理，抽真(zhen)空(kong)不變(bian)形；

外箱材料(liao)為：冷軋(zha)鋼板(ban),厚1.2mm,表面(mian)烤漆(qi)處(chu)理；

保溫(wen)材質(zhi)為：耐高(gao)溫(wen)巖棉，保(bao)溫(wen)層(ceng)厚(hou)100mm，保(bao)溫(wen)效果(guo)好；

安(an)裝帶(dai)剎(sha)車(che)活(huo)動腳輪，可(ke)任意(yi)推動；

三、控(kong)溫(wen)系統(tong)

溫(wen)度範(fan)圍(wei)：常溫(wen)+30℃～200℃

控制精度：±0.5℃

顯示精度：0.1℃        

箱內(nei)溫(wen)度均勻度：±5℃%(無真(zhen)空(kong)時(shi)，空(kong)箱測試(shi))

升溫(wen)速率(lv)：RT→100℃（約30分(fen)鐘），200℃（約45分(fen)鐘）

四、真(zhen)空(kong)系統(tong)

真(zhen)空(kong)度(du)：0～-101KPa

真(zhen)空(kong)保(bao)壓(ya)泄(xie)漏率：約0.8KPa每小(xiao)時(shi)

采用高(gao)密(mi)封性(xing)的(de)矽(gui)膠(jiao)密(mi)封條(tiao)保(bao)障(zhang)整(zheng)機(ji)的(de)密(mi)封性(xing)；

采用數顯(xian)示式(shi)真(zhen)空(kong)表直(zhi)接顯示(shi)內(nei)箱真(zhen)空(kong)度(du)，讓(rang)妳(ni)即時(shi)了解箱體內(nei)的(de)真(zhen)空(kong)狀(zhuang)態(tai)，真(zhen)空(kong)度(du)達(da)到(dao)0－-0.1Mpa (即:100pa真(zhen)空(kong)度(du))

五、充氮(dan)氣裝置(zhi)

1、調(tiao)壓(ya)閥：控制氮氣壓力，正(zheng)常使用(yong)下(xia)氮氣壓力調(tiao)為2.5公(gong)斤(jin)左右；

2、面(mian)板(ban)流(liu)量計：控(kong)制氮氣進入(ru)箱內(nei)的(de)大(da)小(xiao)，量程(cheng)為10L/min-60Lmin；

3、氮氣管道進(jin)入(ru)到(dao)箱內(nei)正後(hou)面(mian)，調(tiao)壓(ya)閥處(chu)預留8mm快插(cha)氣管接口(kou)；

4、註：氮氣由(you)用(yong)戶自備(bei)。